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一种具有交错锯齿型肋壁的微通道蒸发器

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摘要

本发明公开了属于微电子芯片散热技术领域的一种具有交错锯齿型肋壁的微通道蒸发器，该蒸发器由上层盖板、加工有交错锯齿型微通道的硅基板以及加热膜组成，硅基板上的交错锯齿型微通道之间布置有汇聚联箱。加热膜作为模拟热源加热微通道，当液相工质由进液口流入，流经交错锯齿型微通道时，在微通道内吸热发生气液相变，从而冷却硅基板；微通道肋壁上的锯齿根部形成了许多核化凹穴，锯齿结构对工质存在毛细吸液作用，使得通道内易于形成气液分相流动的环状流高效稳定传热模式，本发明具有较低的沸腾起始过热度，高效稳定的传热能力及较高的临界热流密度，在微电子芯片散热技术领域具有广阔的应用前景。

著录项

  • 公开/公告号CN107241887B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华北电力大学;

    申请/专利号CN201710369845.1

  • 发明设计人 张伟;赵亚东;邬智宇;孙远志;徐进良;

    申请日2017-05-23

  • 分类号

  • 代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司;

  • 代理人张文宝

  • 地址 102206 北京市昌平区朱辛庄北农路2号

  • 入库时间 2022-08-23 10:26:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-01

    授权

    授权

  • 2017-11-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H05K7/20 申请日:20170523

    实质审查的生效

  • 2017-11-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H05K 7/20 申请日:20170523

    实质审查的生效

  • 2017-10-10

    公开

    公开

  • 2017-10-10

    公开

    公开

  • 2017-10-10

    公开

    公开

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