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基于氧离子注入铽镓石榴石光波导的空间光隔离器及光波导的制备方法

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本发明涉及基于氧离子注入铽镓石榴石光波导的空间光隔离器及光波导的制备方法，主要包括在TGG晶体中形成光波导和实现良好的光隔离效果。采用能量为15～17MeV，剂量为1～10×10

著录项

公开/公告号CN108490541B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-19

原文格式PDF
申请/专利权人山东大学;
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申请/专利号CN201810474332.1
发明设计人王晨曦;谭杨;
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申请日2018-05-17
分类号
代理机构济南金迪知识产权代理有限公司;
代理人杨磊
地址 250199 山东省济南市历城区山大南路27号
入库时间 2022-08-23 10:28:01

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-19

授权

授权
2018-09-28

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/13 申请日:20180517

实质审查的生效
2018-09-28

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/13 申请日:20180517

实质审查的生效
2018-09-04

公开

公开
2018-09-04

公开

公开
2018-09-04

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