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用溅射深度剖析技术确定薄膜中元素成分深度分布的方法

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摘要

本发明涉及一种用溅射深度剖析技术确定薄膜中元素成分深度分布的方法，主要包括：(a)测量确定待测多层薄膜的膜厚；(b)对待测多层薄膜进行溅射深度剖析，获得样品信号强度‑溅射时间关系的实验数据；(c)信号强度得出元素i的总信号强度；(d)通过深度公式求出溅射深度‑时间关系；(e)对深度公式求微分得到溅射速率‑时间关系；(f)通过浓度公式得到浓度‑时间关系；(g)将步骤(d)得到的溅射深度‑时间关系和步骤(f)得到的浓度‑时间关系结合，最终获得元素的成分浓度‑溅射深度关系。本发明通过质量守恒定律，消除丰度值对元素浓度的影响，并且推导出考虑每个同种元素的粒子产生的平均信号强度后元素新的浓度表达式。

著录项

  • 公开/公告号CN106770620B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 汕头大学;

    申请/专利号CN201611042584.4

  • 发明设计人 王江涌;温睦前;梁家伟;庄素娜;

    申请日2016-11-21

  • 分类号

  • 代理机构广州三环专利商标代理有限公司;

  • 代理人温旭

  • 地址 515063 广东省汕头市大学路243号

  • 入库时间 2022-08-23 10:28:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-19

    授权

    授权

  • 2017-06-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/68 申请日:20161121

    实质审查的生效

  • 2017-06-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/68 申请日:20161121

    实质审查的生效

  • 2017-05-31

    公开

    公开

  • 2017-05-31

    公开

    公开

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