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三自由度MEMS活塞管静电微致动器

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公开了一种三自由度MEMS静电活塞管致动器。该致动器包括两个结构。一个结构包括：多个固定的活塞状电极，所述多个固定的活塞状电极附接到基座，并且形成致动器的定子。第二结构包括多个移动的管状电极，所述多个移动的管状电极附接到上部结构的主体并形成致动器的转子。该转子通过机械弹簧连接到定子。致动器的转子提供3‑DOF运动，包括垂直平移和围绕结构的轴线的双轴旋转。本活塞管致动器利用能够使用宽广区域电极的构造，并且因此提供使得转子能够平移的高输出力或者能够使转子旋转的高输出转矩。

著录项

公开/公告号CN106604887B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-02

原文格式PDF
申请/专利权人费斯·巴-提斯;里哈德·本-马德;
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申请/专利号CN201480080900.X
发明设计人费斯·巴-提斯;里哈德·本-马德;
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申请日2014-08-04
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人樊英如
地址加拿大安大略省
入库时间 2022-08-23 10:29:51

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-05-22

专利权的转移 IPC(主分类):B81B3/00 登记生效日:20200507 变更前: 变更后: 变更前:

专利申请权、专利权的转移
2019-04-02

授权

授权
2019-04-02

授权

授权
2017-08-11

实质审查的生效 IPC(主分类):B81B3/00 申请日:20140804

实质审查的生效
2017-08-11

实质审查的生效 IPC(主分类):B81B3/00 申请日:20140804

实质审查的生效
2017-08-11

实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 3/00 申请日:20140804

实质审查的生效
2017-04-26

公开

公开
2017-04-26

公开

公开
2017-04-26

公开

公开
2017-04-26

公开

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