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气体驱动的行星旋转设备及用于形成碳化硅层的方法

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一种与一驱动气体流一起使用的气体驱动旋转设备包括一具有一上表面的基座构件、一位于基座构件的上表面上方的主母板、以及一位于主母板上方的附母板。这种设备构造成将驱动气体流引导于基座构件的上表面与主母板之间，以便使得主母板在驱动气体流作用下相对于基座构件旋转。驱动气体流的至少一部分被从基座构件的上表面与主母板之间引向主母板与附母板之间，以便使得附母板在该至少一部分驱动气体流的作用下相对于主母板旋转。

著录项

公开/公告号CN100339942C

专利类型发明授权
公开/公告日2007-09-26

原文格式PDF
申请/专利权人克里公司;
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申请/专利号CN03807849.X
发明设计人 M·J·派斯利;J·J·苏马克里斯;
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申请日2003-02-04
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人原绍辉
地址美国北卡罗来纳州
入库时间 2022-08-23 08:59:36

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2007-09-26

授权

授权
2005-09-21

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-07-27

公开

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