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一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置

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摘要

本发明涉及蓝宝石晶片搬运设备，旨在提供一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置。该种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置同步带轮组、丝杆模组、丝杆模组安装板、丝杆模组滑块连接座、同步带轮轴Ⅱ、同步带轮轴Ⅰ、齿轮、齿条、齿条安装板、小轴、皮带夹紧块、导轨滑块、导轨滑块安装板、吸盘安装座、晶片吸盘，能搬运晶片。本发明在晶片需要从晶舟盒中搬运到另一个平台的过程中，不需要人触碰到晶片，机械手晶片吸盘，在一个狭小的空间自动吸取蓝宝石晶片，整个的行程可以扩大一倍甚至更多。

著录项

  • 公开/公告号CN107265113B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江晶瑞电子材料有限公司;

    申请/专利号CN201710420615.3

  • 发明设计人 朱亮;曹建伟;孙明;吴文泉;于江忠;董炯杰;卢宇;

    申请日2017-06-06

  • 分类号

  • 代理机构杭州中成专利事务所有限公司;

  • 代理人周世骏

  • 地址 312300 浙江省绍兴市杭州湾上虞经济技术开发区东二区舜园路1号

  • 入库时间 2022-08-23 10:31:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-07

    授权

    授权

  • 2017-11-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):B65G47/90 申请日:20170606

    实质审查的生效

  • 2017-11-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):B65G 47/90 申请日:20170606

    实质审查的生效

  • 2017-10-20

    公开

    公开

  • 2017-10-20

    公开

    公开

  • 2017-10-20

    公开

    公开

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