公开/公告号CN105906660B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 弗萨姆材料美国有限责任公司;
申请/专利号CN201610256473.7
申请日2016-02-14
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人吴亦华
地址 美国亚利桑那州
入库时间 2022-08-23 10:31:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-07
授权
授权
2017-06-16
专利申请权的转移 IPC(主分类):C07F7/18 登记生效日:20170527 变更前: 变更后: 申请日:20160214
专利申请权、专利权的转移
2017-06-16
专利申请权的转移 IPC(主分类):C07F 7/18 登记生效日:20170527 变更前: 变更后: 申请日:20160214
专利申请权、专利权的转移
2016-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):C07F7/18 申请日:20160214
实质审查的生效
2016-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):C07F 7/18 申请日:20160214
实质审查的生效
2016-08-31
公开
公开
2016-08-31
公开
公开
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机译: 双氨基烷氧基硅烷化合物和用于使用相同沉积含硅膜的方法
机译: 双氨基烷氧基硅烷化合物及其用于沉积含硅膜的方法
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