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一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法

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摘要

本申请公开了一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法。该方法包括：制作用于构成激光器混合模式谐振腔的光栅；其中所述光栅用于实现激光器谐振腔中相同波长的激光以两种以上的模式共同发射；所述光栅包含相移结构；通过后续工艺，制备激光器；所述后续工艺包括刻蚀工艺和沉积金属工艺。本发明解决了现有技术中的模分复用光子集成芯片的光源光耦合损耗大的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN105552717B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京大学;

    申请/专利号CN201610082345.5

  • 发明设计人 施跃春;肖如磊;陈向飞;张云山;郑吉林;陆骏;

    申请日2016-02-05

  • 分类号H01S5/40(20060101);H01S5/12(20060101);

  • 代理机构11315 北京国昊天诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人黄熊

  • 地址 210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号

  • 入库时间 2022-08-23 10:31:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-07

    著录事项变更 IPC(主分类):H01S5/40 变更前: 变更后: 申请日:20160205

    著录事项变更

  • 2019-05-10

    授权

    授权

  • 2019-05-10

    授权

    授权

  • 2016-06-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01S5/40 申请日:20160205

    实质审查的生效

  • 2016-06-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01S5/40 申请日:20160205

    实质审查的生效

  • 2016-06-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/40 申请日:20160205

    实质审查的生效

  • 2016-05-04

    公开

    公开

  • 2016-05-04

    公开

    公开

  • 2016-05-04

    公开

    公开

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