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使用肋形波导的电光调制器

摘要

一种光调制器可包括下波导、上波导以及设置在这两者之间的电介质层。当在下波导和上波导之间产生电压电势时,这些层形成了硅‑绝缘体‑硅电容(也被称为SISCAP)导,该硅‑绝缘体‑硅电容导提供了对穿过调制器的光信号的高效、高速光学调制。在一个实施例中,至少一个波导包括各自在电荷调制区处对齐的脊部,脊部有助于将光学模式横向地(例如,在宽度方向上)限制在光学调制器中。在另一实施例中,脊部可在上波导和下波导二者上成形。这些脊部可在垂直方向(例如,厚度方向)上对齐以使脊部重叠,这样可通过将光学模式在电荷调制区中居中进一步提高光学效率。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-10

    授权

    授权

  • 2016-12-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02F1/025 申请日:20150123

    实质审查的生效

  • 2016-12-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/025 申请日:20150123

    实质审查的生效

  • 2016-11-16

    公开

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  • 2016-11-16

    公开

    公开

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