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一种声表面波谐振器型加速度计结构及其测量方法

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本发明公开一种声表面波谐振器型加速度计结构及其测量方法，包括压电基片、制作于压电基片上的声表面波谐振器金属指和叠加在声表面波谐振器金属指之上的同形可浮动质量载荷指。当加速度计结构作向上或向下的加速运动时，质量载荷指因惯性产生向下或向上的位移，其与下层声表面波谐振器金属指的接触面积和作用力发生变化，声表面波谐振器金属指的等效质量发生变化，最终声表面波谐振器的谐振频率发生变化，据此可以测量加速度计结构的运动加速度。与现有技术相比，本发明采用复合指结构的声表面波谐振器作为加速度敏感元件，所包含的质量载荷指的结构、材料、加工方法与下层声表面波谐振器金属指相同或相似，结构新颖，工艺兼容性好，制作方便。

著录项

公开/公告号CN106771356B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-21

原文格式PDF
申请/专利权人扬州大学;
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申请/专利号CN201710048869.7
发明设计人赵成;陈磊;张凯;杨义军;
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申请日2017-01-23
分类号
代理机构扬州苏中专利事务所(普通合伙);
代理人许必元
地址 225009 江苏省扬州市大学南路88号扬州大学
入库时间 2022-08-23 10:32:57

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-21

授权

授权
2017-06-23

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/09 申请日:20170123

实质审查的生效
2017-06-23

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/09 申请日:20170123

实质审查的生效
2017-05-31

公开

公开
2017-05-31

公开

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