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基于石墨烯微带线行波电极的环形谐振腔光调制器

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本发明公开了一种基于石墨烯微带线行波电极的环形谐振腔光调制器，属于光电子技术领域，解决现有技术中基于石墨烯光调制器受限于集总电极结构的较大RC常数，造成调制带宽比较小的问题，提供了一种基于石墨烯微带线行波电极的环形谐振腔光调制器。本发明包括衬底层，设置在衬底层表面上的条形光波导、环形光波导，所述条形光波导将衬底层表面分为两部分，所述环形光波导设置在条形光波导一侧上，所述条形光波导的两侧，衬底层表面上设置有第一电介质填充层和第二电介质填充层，所述环形光波导上设置有微带线行波电极结构，本发明用于实现光调制速率。

著录项

公开/公告号CN106990563B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-05

原文格式PDF
申请/专利权人电子科技大学;
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申请/专利号CN201710409660.9
发明设计人陆荣国;叶胜威;刘天良;夏瑞杰;陈德军;张尚剑;刘永;
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申请日2017-06-02
分类号
代理机构成都弘毅天承知识产权代理有限公司;
代理人徐金琼
地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
入库时间 2022-08-23 10:35:41

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-05

授权

授权
2017-08-22

实质审查的生效 IPC(主分类):G02F1/03 申请日:20170602

实质审查的生效
2017-08-22

实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/03 申请日:20170602

实质审查的生效
2017-07-28

公开

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2017-07-28

公开

公开
2017-07-28

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