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离子束辐照设备

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摘要

本发明公开了一种离子束辐照设备，其包括：支撑基板的夹具；以及离子束源，其距离基板预定距离，并倾斜以基本平行于基板，并向基板辐照离子束。

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1. 一种利用高能离子束辐照时减小离子束展宽Bragg峰后沿剂量半影的方法 [P] . 中国专利： CN101763909B . 2011.12.28
2. 一种采用离子束辐照测量核石墨在辐照环境下的尺寸变化行为的方法 [P] . 中国专利： CN109916926B . 2021.08.06
3. ION ACCELERATION METHOD, ION ACCELERATION DEVICE, AND ION BEAM IRRADIATION DEVICE, MEDICAL ION BEAM IRRADIATION DEVICE, ION BEAM IRRADIATION DEVICE FOR NUCLEAR EXPLOSION [P] . 日本专利： JP2014022350A . 2014-02-03

机译：离子加速方法，离子加速设备和离子束辐照设备，医用离子束辐照设备，核爆炸用离子束辐照设备
4. ION BEAM IRRADIATION APPARATUS AND METHOD OF OPERATING ION BEAM IRRADIATION APPARATUS [P] . 日本专利： JP2014120347A . 2014-06-30

机译：离子束辐照设备和操作离子束辐照设备的方法
5. Ion milling apparatus, ion milling method, ion beam irradiation apparatus and ion beam irradiation method [P] . 日本专利： JP3419331B2 . 2003-06-23

机译：离子铣削设备，离子铣削方法，离子束辐照设备和离子束辐照方法