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双频激光准直测量方法及其准直测量干涉仪

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本发明提出一种新的双频激光准直测量方法，属于双频激光精密测量技术领域。其特点在于将双频激光束射入第一个双折射分光元件分成夹有一小角度的两束光，再经过第二个双折射分光元件变成平行光速，经反射体反射按原路返回，由光电接收器接收，做为测量信号，相位计将双频激光参考信号与测量信号进行比相，得到位移量。本发明有利于克服空气干扰的影响，不但能进行连续测量，也能进行断续测量，在实际工程的精密测量中有广泛的应用前景。

著录项

公开/公告号CN1036292C

专利类型发明授权
公开/公告日1997-10-29

原文格式PDF
申请/专利权人清华大学;
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申请/专利号CN92110543.6
发明设计人殷纯永;郭继华;钱忠;谢广平;王泽民;马贵龙;
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申请日1992-09-17
分类号G01B11/27;
代理机构清华大学专利事务所;
代理人廖元秋
地址 100084 北京市海淀区清华园
入库时间 2022-08-23 08:54:55

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2001-11-14

专利权的终止未缴年费专利权终止

专利权的终止未缴年费专利权终止
1997-10-29

授权

授权
1993-04-14

公开

公开
1993-03-24

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效

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专利
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外文文献

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