法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-10
授权
授权
2018-01-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01K17/00 申请日:20160905
实质审查的生效
2018-01-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01K 17/00 申请日:20160905
实质审查的生效
2018-01-05
公开
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2018-01-05
公开
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2018-01-05
公开
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机译: 温度传感器装置和使用该装置的辐射温度计,温度传感器装置的制造方法,使用光致抗蚀剂膜的多层薄膜热电堆和使用该热电堆的辐射温度计以及多层薄膜热电堆的制造方法
机译: 使用该装置的温度传感器装置和辐射温度计,例如,温度传感器装置的制造方法,多层-薄膜-热电堆,使用光致抗蚀剂膜和使用热柱的辐射温度计工艺,以及多层薄膜的制造方法-热柱
机译: 用于光谱测量红外辐射的传感器元件,包括基板,在基板上侧形成的膜,在基板中的膜下方形成的腔,热电堆结构,过滤装置和热电堆电池