• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法

机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

本发明揭示了一种机台恢复检验方法，包括：填写处理步骤，根据所述处理步骤得到一处理步骤信息；根据一预先设置的机台监测信息，对所述处理步骤信息进行检测，并得到一检测结果。本发明还揭示了一种应用该方法的机台恢复检验系统。本发明的机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法，能够避免由于工程师错误的处理指令带来非预期的效果，提高工厂的自动化程度，提高产品良率，进一步提高客户满意度。

著录项

  • 公开/公告号CN104699019B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-09-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;

    申请/专利号CN201310661863.9

  • 发明设计人 张哲;董海龙;

    申请日2013-12-09

  • 分类号

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人屈蘅

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

  • 入库时间 2022-08-23 10:39:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-09-17

    授权

    授权

  • 2015-07-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/418 申请日:20131209

    实质审查的生效

  • 2015-07-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/418 申请日:20131209

    实质审查的生效

  • 2015-06-10

    公开

    公开

  • 2015-06-10

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号