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恒温电迁移测试中的电流加速因子评估方法

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本发明提供了一种恒温电迁移测试中的电流加速因子评估方法，包括：第一步骤：确定一组测试温度和载台温度，以得出金属测试结构的的经待测金属线的电流；第二步骤：固定测试温度，通过载台温度调节的方式来改变载台温度，得到经待测金属线的调节后电流；重复第一步骤和第二步骤以得到多组数据，其中每组数据包括电流数据和失效寿命数据；第三步骤：利用所述多组数据，通过金属寿命布莱克方程，计算出该金属测试结构的电流加速因子；第四步骤：利用电流加速因子，结合自校准式恒温电迁移活化能的评估方法，实现在恒温电迁移测试下的金属寿命计算。

著录项

公开/公告号CN106449460B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-17

原文格式PDF
申请/专利权人上海华力微电子有限公司;
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申请/专利号CN201610950150.8
发明设计人曹巍;周柯;陈雷刚;
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申请日2016-10-26
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人智云
地址 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 10:39:51

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-09-17

授权

授权
2017-03-22

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20161026

实质审查的生效
2017-03-22

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20161026

实质审查的生效
2017-02-22

公开

公开
2017-02-22

公开

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