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包含聚对羟基苯乙烯类氧杂环丁烷树脂作为成膜树脂的光刻胶组合物

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本发明涉及一种包含式(I)聚合物作为成膜树脂的光刻胶组合物，其中R_a‑R_d、R和n如说明书中所定义。光刻胶组合物包含的成膜聚合物当用作光刻胶的成膜树脂时具有紫外光透过性好、粘度大可形成厚膜、光固化彻底、分辨率高等优点。本发明的光刻胶是一种可应用于先进封装技术和MEMS制造的负性厚膜光刻胶，根据需要其膜厚一次匀胶甩片可达20‑100微米，分辨率的独立线宽范围5微米以上，感度(以20μm膜厚计)50‑80mJ/cm^‑2。

著录项

公开/公告号CN108303851B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-10

原文格式PDF
申请/专利权人湖北固润科技股份有限公司;
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申请/专利号CN201810009873.7
发明设计人邹应全;郭晔嘉;庞玉莲;
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申请日2018-01-05
分类号G03F7/027(20060101);G03F7/004(20060101);C08F8/00(20060101);C08F112/14(20060101);
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人李小梅;刘金辉
地址 448000 湖北省荆门市化工循环产业园冯庙村三组
入库时间 2022-08-23 10:40:08

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-09-10

授权

授权
2018-08-14

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/027 申请日:20180105

实质审查的生效
2018-08-14

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/027 申请日:20180105

实质审查的生效
2018-07-20

公开

公开
2018-07-20

公开

公开
2018-07-20

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