公开/公告号CN106460170B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-06
原文格式PDF
申请/专利权人 默克专利股份有限公司;
申请/专利号CN201580024681.8
申请日2015-03-10
分类号
代理机构北京大成律师事务所;
代理人李佳铭
地址 德国达姆施塔特
入库时间 2022-08-23 10:45:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-06
授权
授权
2019-11-22
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20191101 变更前: 变更后: 申请日:20150310
专利申请权、专利权的转移
2019-11-22
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20191101 变更前: 变更后: 申请日:20150310
专利申请权、专利权的转移
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20150310
实质审查的生效
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20150310
实质审查的生效
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20150310
实质审查的生效
2017-02-22
公开
公开
2017-02-22
公开
公开
2017-02-22
公开
公开
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机译: 钼甲硅烷基环戊二烯基和甲硅烷基烯丙基配合物及其在薄膜沉积中的应用
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