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用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器

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反应器(R)具有反应室(RC)，该反应室(RC)设有用于金属零件(1)的支撑体(S)并且设有与接地(2b)连接的阳极系统(2)和与支撑体(S)并且与脉动DC电源(10)连接的阴极系统(3)。在被加热并且被供给气体负载的反应室(RC)中，通过阴极(3)中的放电，形成气体等离子体。液体或气体前体被准许进入与高电压能源(30)相关联的至少一个管状裂解室(20)中。可提供与电源(50)相关联的接收固体前体的至少一个管状溅射室(40)。在阳极(2)与所述管状室(20、40)中的一个或另一个之间施加电势差，以同时或单独地并且以任何次序地释放要对着金属零件(1)被离子轰击的合金元素。

著录项

公开/公告号CN107002228B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-13

原文格式PDF
申请/专利权人圣卡塔琳娜州联邦大学;
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申请/专利号CN201580063209.5
发明设计人 C·宾德;E·A·贝尔纳代利;G·海姆斯;A·N·克雷恩;T·D·S·拉弥;R·宾德;
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申请日2015-10-19
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人郭思宇
地址巴西圣卡塔琳娜
入库时间 2022-08-23 10:45:33

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-12-13

授权

授权
2017-11-10

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20151019

实质审查的生效
2017-11-10

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20151019

实质审查的生效
2017-08-01

公开

公开
2017-08-01

公开

公开
2017-08-01

公开

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1. 用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器 [P] . 中国专利： CN107002228B . 2019.12.13
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