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准连续波二极管泵浦固体紫外激光系统及其使用方法

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摘要

一种准连续波二极管或灯泵浦A-O Q开关固体紫外激光系统(10)，当定位系统(36)正从一标靶区域(31)移动到下一标靶区域(31)时，使该准连续波泵浦的时序与该定位系统(36)的移动同步以便减少泵浦，从而以高产出量于一基板地形成多个通孔。所以，用于通孔形成的有效的紫外线功率较高，即使是对于激光介质(16)及激光泵浦二极管(14)的热负载的平均泵浦功率维持和目前可得到的，通过具有传统可得到的激光泵浦二极管(14)的传统连续波泵浦功率相同。该准连续波泵电流波形可进一步地修改，以实现一优选的紫外脉冲振幅波形。

著录项

  • 公开/公告号CN100351719C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-11-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 电子科学工业公司;

    申请/专利号CN02806403.8

  • 发明设计人 Y·孙;R·S·哈里斯;

    申请日2002-03-12

  • 分类号G05B15/00(20060101);G06F19/00(20060101);B23K26/00(20060101);

  • 代理机构11245 北京纪凯知识产权代理有限公司;

  • 代理人赵蓉民

  • 地址 美国俄勒冈州

  • 入库时间 2022-08-23 09:00:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-05-03

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05B 15/00 授权公告日:20071128 终止日期:20160312 申请日:20020312

    专利权的终止

  • 2007-11-28

    授权

    授权

  • 2006-02-22

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-12-28

    公开

    公开

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