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前驱体组合物、感光性树脂组合物、前驱体组合物的制造方法、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件

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摘要

本发明提供一种曝光宽容度宽的感光性树脂组合物、用于提供所述感光性树脂组合物的前驱体组合物、前驱体组合物的制造方法、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件。一种前驱体组合物，其包含含有杂环的聚合物前驱体的至少一种，上述含有杂环的聚合物前驱体选自聚酰亚胺前驱体及聚苯并噁唑前驱体，上述含有杂环的聚合物前驱体的重均分子量/数均分子量即分散度为2.5以上。

著录项

公开/公告号CN107709408B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-14

原文格式PDF
申请/专利权人富士胶片株式会社;
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申请/专利号CN201680037218.1
发明设计人涩谷明规;岩井悠;川端健志;小山一郎;
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申请日2016-06-29
分类号C08G73/10(20060101);G03F7/20(20060101);C08F2/44(20060101);C08F283/04(20060101);C08F290/14(20060101);C08G73/22(20060101);G03F7/023(20060101);G03F7/027(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人曹阳
地址日本国东京都
入库时间 2022-08-23 10:49:49

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-02-14

授权

授权
2018-03-16

实质审查的生效 IPC(主分类):C08G73/10 申请日:20160629

实质审查的生效
2018-03-16

实质审查的生效 IPC(主分类):C08G 73/10 申请日:20160629

实质审查的生效
2018-02-16

公开

公开
2018-02-16

公开

公开
2018-02-16

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