法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-14
授权
授权
2015-09-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G05D1/02 申请日:20150522
实质审查的生效
2015-09-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 1/02 申请日:20150522
实质审查的生效
2015-08-19
公开
公开
2015-08-19
公开
公开
机译: 运动系统的自适应自适应前馈控制调整以及具有这种运动系统的光刻设备
机译: 用于调节运动系统的自适应前馈控制以及包括这种运动系统的光刻设备
机译: 用于运动系统的自适应前馈控制调谐以及具有该运动系统的光刻设备