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薄膜取向结晶生长的X射线衍射原位表征方法

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本发明公开了一种薄膜取向结晶生长的X射线衍射原位表征方法，首先采用对称反射扫描方式测量薄膜的面外衍射峰位置，确认薄膜的面外取向特征；然后基于初始原胞参数，在预测方位附近，采用非对称反射扫描方式获取一组晶面与衬底形成倾斜夹角的晶面组的衍射峰位置；基于初始原胞参数，计算测量所得衍射峰位置与预测值之间的差距δ，通过修正晶格参数和循环迭代计算不断减小δ直到足够小，从而获得更准确的晶格参数信息。本发明采用计算机辅助的计算方式，可以在几秒钟的时间内获得足够高的分析精度，其输出数据可以直接作为下一个测量周期的输入值，因此可以形成一个高速的动态测量分析系统。

著录项

公开/公告号CN107085003B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-17

原文格式PDF
申请/专利权人合肥工业大学;
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申请/专利号CN201710301167.5
发明设计人王向华;顾勋;
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申请日2017-05-02
分类号G01N23/207(20060101);
代理机构34101 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司;
代理人何梅生
地址 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
入库时间 2022-08-23 10:52:28

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-03-17

授权

授权
2017-09-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/20 申请日:20170502

实质审查的生效
2017-09-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/20 申请日:20170502

实质审查的生效
2017-08-22

公开

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2017-08-22

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2017-08-22

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