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一种具有表面增强拉曼散射的金纳米环堆叠阵列基底及制备方法

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本发明公开一种具有表面增强拉曼散射的金纳米环堆叠阵列基底及制备方法，利用光刻工艺中的驻波效应，即入射光基底材料的表面反射与入射光发生干涉而在光刻胶上形成一种特定堆叠三维结构，与此同时，多光束激光干涉光刻技术又将这种堆叠三维结构按照指定的周期分布排列，经过溅射一层纳米厚度的金薄膜，形成金纳米环堆叠阵列，该结构具有表面增强拉曼散射的效果，可用于拉曼散射检测的基底材料，从而有效地提高被检测物质的拉曼信号。

著录项

公开/公告号CN107966429B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-15

原文格式PDF
申请/专利权人长春理工大学;
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申请/专利号CN201711389231.6
发明设计人董莉彤;王作斌;张子昂;王璐;李理;周东杨;刘梦楠;翁占坤;宋正勋;许红梅;
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申请日2017-12-21
分类号G01N21/65(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人安丽
地址 130022 吉林省长春市卫星路7089号
入库时间 2022-08-23 10:58:33

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-05-15

授权

授权
2018-05-22

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/65 申请日:20171221

实质审查的生效
2018-04-27

公开

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