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一种溅射离子泵的磁路结构及溅射离子泵

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本发明涉及一种溅射离子泵磁路结构及溅射离子泵,包括抽气组件、一对梯台型磁轭、磁铁和下方磁轭，所述下方磁轭的两端上方分别设有所述磁铁，所述磁铁的上面固定梯台型磁轭，所述梯台型磁轭下宽上窄设置，所述一对梯台型磁轭的垂直面相对设置，所述抽气组件固定于两个梯台型磁轭之间，随着与磁铁距离的增大，所述梯台型磁轭的厚度逐渐缩小，收缩其中的磁力线，使抽气组件空间内形成磁感应强度不变的均匀磁场。该磁路结构中磁轭将大量磁力线束，带有磁轭的抽气组件内阳极筒轴线处的磁感应强度整体高于没有磁轭的抽气组件，磁场利用率高，提高效果明显，结构简单，有效降低了泵的体积和重量，降低了加工成本。

著录项

公开/公告号CN109830422B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-19

原文格式PDF
申请/专利权人东北大学;
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申请/专利号CN201910142821.1
发明设计人刘坤;臧浩天;杜广煜;刘晓杰;宁久鑫;王晓东;巴德纯;
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申请日2019-02-26
分类号
代理机构北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人韩国胜
地址 110169 辽宁省沈阳市浑南区创新路195号
入库时间 2022-08-23 10:59:06

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-05-19

授权

授权
2019-06-25

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J41/18 申请日:20190226

实质审查的生效
2019-05-31

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