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用于测量激光烧蚀微冲量的冲量秤装置

摘要

本发明提供了一种用于测量激光烧蚀微冲量的冲量秤装置,包括冲量秤部分、电磁阻尼部分和位移测量部分。其中冲量秤部分包括横梁、转动支架、枢轴、枢轴支架、固定支架、配重和阻尼片;横梁中部固定有转动支架,枢轴一端与转动支架垂直连接,另一端与枢轴框架垂直连接;横梁两端分别固定有配重和阻尼片;枢轴框架安装在固定支架上端,固定支架底端可与实验台或其它调节机构连接。电磁阻尼部分包括电源,支架和电磁铁;电磁铁通过支架固定;位移测量部分包括位移传感器、传感器支架、控制器及数据处理终端。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-03

    保密专利的解密 IPC(主分类):G01L5/00 申请日:20131012

    保密专利的解密

  • 2015-10-14

    保密专利专利权授予

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