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一种薄膜式悬臂梁表面应力生物传感器的制造方法

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本发明涉及生物传感器制造领域，具体为一种薄膜式悬臂梁表面应力生物传感器的制造方法，包括以下步骤：用聚二甲基硅氧烷原液制备聚二甲基硅氧烷基底；加热固化后，中央切割孔槽；在玻璃衬底上旋涂一层聚二甲基硅氧烷薄膜，在聚二甲基硅氧烷薄膜中央切凹槽，将聚二甲基硅氧烷薄膜在氯金酸溶液还原，表面旋涂光刻胶并进行选择性曝光；聚二甲基硅氧烷薄膜与聚二甲基硅氧烷基底粘合，切割成十字悬臂梁形状，制得聚二甲基硅氧烷薄膜基底；还原沉淀纳米金；剥离光刻胶；划片、封装、测试即得。本发明可以实现集成化，微型化，满足生物传感器的实际应用需要。

著录项

公开/公告号CN108593160B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-17

原文格式PDF
申请/专利权人太原理工大学;
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申请/专利号CN201810502336.6
发明设计人张强;赵冬;桑胜波;张益霞;禚凯;季超;杜怡;裴臻;贾雯丹;
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申请日2018-05-23
分类号
代理机构太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙);
代理人崔雪花
地址 030024 山西省太原市万柏林区迎泽西大街79号
入库时间 2022-08-23 11:05:45

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-07-17

授权

授权
2018-10-26

实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/22 申请日:20180523

实质审查的生效
2018-09-28

公开

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