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一种具有空间分辨能力的深紫外角分辨光电子能谱光源

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提供了一种具有空间分辨能力的深紫外角分辨光电子能谱光源，包括依次连接的连续激光器(1)、基频光调节模块、深紫外激光产生模块、深紫外激光整形与准直模块、深紫外激光功能实现模块，其中后三个模块设置于真空腔内。基频光调节模块主要用于调节由连续激光器(1)输出的基频光功率与偏振方向；深紫外激光产生模块用于构建基频光与KBBF晶体相互作用产生倍频激光所需的必要环境；深紫外激光整形与准直模块用于对倍频激光进行光束整形和扩束准直；深紫外激光功能实现模块用于对深紫外激光的偏振特性调整，然后对深紫外激光的亚微米级聚焦。本发明构建出的光源同时具备高能量分辨能力和高空间分辨能力。

著录项

公开/公告号CN110492347B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-17

原文格式PDF
申请/专利权人中国人民解放军国防科技大学;
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申请/专利号CN201910802592.1
发明设计人张超凡;毛元昊;郭川;黄坤;陈宇林;
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申请日2019-08-28
分类号
代理机构长沙国科天河知识产权代理有限公司;
代理人董惠文
地址 410073 湖南省长沙市开福区德雅路109号
入库时间 2022-08-23 11:05:53

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-07-17

授权

授权
2019-12-17

实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/109 申请日:20190828

实质审查的生效
2019-11-22

公开

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