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多晶硅引晶涂层的制备方法及铸锭坩埚

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本发明提供了一种多晶硅引晶涂层的制备方法及铸锭坩埚。上述多晶硅引晶涂层的制备方法及铸锭坩埚，通过设置第一石英砂层和第二石英砂层，形成高低有差的引晶层，以使铸锭时产生细小晶粒，且第一石英砂层和第二石英砂层为异质引晶，因此可以不再利用底部籽晶引晶(同质引晶)，避免籽晶熔完的风险(籽晶熔完会导致晶粒过大，整锭良率不合格)，因此不需要安排测试人员进行实时测试；其次通过上述工艺，在引晶过程中第一石英砂层和第二石英砂层全部熔化，多晶硅的尾部不会产生孔洞，在切除尾部红区时，因尾部较为平整，只需切除一次即可，有效降低生产成本和后端加工成本。

著录项

公开/公告号CN108342774B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-24

原文格式PDF
申请/专利权人晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司;
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申请/专利号CN201810046304.X
发明设计人周建军;龙昭钦;毛亮亮;冷金标;丁文辉;周成;雷鸣;周慧敏;徐志群;
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申请日2018-01-17
分类号
代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人何世磊
地址 334100 江西省上饶市经济开发区晶科大道1号
入库时间 2022-08-23 11:06:18

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-07-24

授权

授权
2018-08-24

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B28/06 申请日:20180117

实质审查的生效
2018-07-31

公开

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