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一种用于太赫兹微测辐射热计的天线结构及其制备方法

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本发明提供一种用于太赫兹微测辐射热计的天线结构及其制备方法，及太赫兹探测与成像技术领域，本发明的天线结构在太赫兹微测辐射热计微桥结构桥面多层薄膜中集成一层平面天线，同时用作金属薄膜吸收层，利用金属薄膜的宽频吸收与天线对特定频率的耦合增强吸收，实现对太赫兹波的宽频高吸收。本发明采用RIE工艺修饰处理天线下的介质衬底层或天线层，形成表面微结构，增大天线与金属薄膜吸收层的有效吸收面积，提高吸收效率。

著录项

公开/公告号CN108365345B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-11

原文格式PDF
申请/专利权人电子科技大学;
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申请/专利号CN201810118424.6
发明设计人苟君;牛青辰;王军;黎威志;蒋亚东;
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申请日2018-02-06
分类号H01Q17/00(20060101);
代理机构51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司;
代理人徐金琼;刘东
地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
入库时间 2022-08-23 11:11:56

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