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波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器

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本发明公开了一种波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器，波导的形成方法包括下列步骤：在硅衬底上生长绝缘层；在绝缘层的表面旋涂光刻胶；光刻光刻胶并形成波导结构；在波导结构内气相淀积玻璃以形成玻璃波导层；应用剥离技术除去没有被光刻的光刻胶以及位于波导结构以外的玻璃以形成波导主体；在波导主体上旋涂聚合物；光刻聚合物并固化后以形成腔室支柱；以及将腔室支柱的顶部通过键合技术形成腔室，多个腔室连接形成波导。本发明的波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器，其采用无源设计增加产品寿命、提升传感器灵敏度、具备实时在线监测功能。

著录项

公开/公告号CN110501781B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-08

原文格式PDF
申请/专利权人北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;国网江西省电力有限公司;国家电网有限公司;
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申请/专利号CN201910818563.4
发明设计人乔磊;廖志军;刘瑞;郑哲;崔文朋;池颖英;陈婷;李春晖;李纪平;
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申请日2019-08-30
分类号G02B6/13(20060101);G02B6/122(20060101);G01N21/31(20060101);
代理机构11279 北京中誉威圣知识产权代理有限公司;
代理人孙彦斌;赵莎莎
地址 100192 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼
入库时间 2022-08-23 11:13:13

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外文文献

1. 波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器 [P] . 中国专利： CN110501781B . 2020.09.08
2. 波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器 [P] . 中国专利： CN110501781A . 2019-11-26
3. Optical wave guide using parabolic reflectors and an Infrared gas sensor containing the same [P] . 韩国专利： KR20180021956A . 2018-03-06

机译：使用抛物面反射镜的光波导和包含该波导的红外气体传感器
4. Optical chemical sensor and method using same employing a multiplicity of fluorophores contained in the free volume of a polymeric optical waveguide or in pores of a ceramic waveguide [P] . 美国专利： US5577137A . 1996-11-19

机译：光学化学传感器和使用该光学化学传感器的方法采用了包含在聚合物光波导的自由体积中或陶瓷波导孔中的多种荧光团
5. Optical wave guide having multiple independent optical path and optical gas sensor using that [P] . 美国专利： US10254161B2 . 2019-04-09

机译：具有多个独立光路的光波导和使用该光波导的光学气体传感器