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一种聚碳酸酯作为电子束光刻胶材料的应用

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本发明涉及一种聚碳酸酯作为电子束光刻胶材料的应用，所述聚碳酸酯是由二氧化碳和至少一种环氧烷烃通过交替共聚形成。本发明开创性地将二氧化碳基聚碳酸酯应用于半导体加工领域，该聚碳酸酯具有高灵敏度、较高的分辨率和对比度的特点。

著录项

公开/公告号CN107991842B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-03

原文格式PDF
申请/专利权人浙江大学;
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申请/专利号CN201711248838.2
发明设计人伍广朋;陆新宇;张瑶瑶;王凯;张若禹;戴雅浩;
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申请日2017-12-01
分类号G03F7/038(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/32(20060101);
代理机构33224 杭州天勤知识产权代理有限公司;
代理人陈华
地址 310013 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2022-08-23 11:20:06

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