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一种磨床机构、研磨工艺及其研磨材料的制备工艺

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摘要

公开了一种磨床机构，该磨床机构包括研磨台，研磨台上设有研磨垫，研磨垫能够在旋转装置的驱动下转动并对研磨件进行研磨处理，研磨台的后方设有载台，载台上设有支持座，支持座上设有支座，支座上连接有气动执行器，支持座的前端与压盘组件连接，压盘组件上设有三角立板，气动执行器的操作杆与三角立板连接，压盘组件的前端设有延长杆，延长杆上设有主轴，主轴上连接有研磨件承载组件，研磨件装配在研磨件承载组件上，整个磨床机构结构紧凑，能够高效的对晶片进行研磨处理，提高了研磨精度，降低了精加工成本。

著录项

  • 公开/公告号CN111409015B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-11-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州航菱微精密组件有限公司;

    申请/专利号CN202010383255.6

  • 发明设计人 陈英兰;

    申请日2020-05-08

  • 分类号B24B37/10(20120101);B24B37/34(20120101);B24B57/02(20060101);B24B37/20(20120101);B24B53/017(20120101);C09K3/14(20060101);

  • 代理机构11390 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人胡剑辉

  • 地址 215299 江苏省苏州市吴江经济技术开发区吉市西路688号

  • 入库时间 2022-08-23 11:21:31

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