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基于聚焦离子束技术的微透镜与光纤集成方法

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摘要

本发明提出的聚焦离子束技术实现微透镜与光纤集成方法是直接将设计的微透镜几何参数输入计算机控制聚焦至10纳米的离子束斑按照一定的轨迹逐点写入加工或逐层材料添加，属于一步制作方法，避免了以往报道的激光直接写入法、电子束扫描直接写入法以及光学刻划方法中必不可少的从光致抗蚀剂到基底的图形转移工序，减少了累积制作误差，从而大大提高了微光学元件制作过程中的控制精度。本发明可一步制成集成一体的透镜光纤，对研制和开发微光电系统、以及分析监测仪器小型化和紧凑化将具有重要的应用价值。

著录项

公开/公告号CN100417961C

专利类型发明授权
公开/公告日2008-09-10

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院光电技术研究所;
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申请/专利号CN200410009710.7
发明设计人付永启;杜春雷;
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申请日2004-10-27
分类号G02B6/26(20060101);G02B6/32(20060101);G01B9/02(20060101);
代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人刘秀娟;成金玉
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2022-08-23 09:01:01

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-12-18

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 6/26 授权公告日:20080910 终止日期:20121027 申请日:20041027

专利权的终止
2008-09-10

授权

授权
2007-05-16

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-05-10

公开

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