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一种用于大尺寸光学窗口零件面形和平行差开放式检测装置及检测方法

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摘要

本发明公开了一种用于大尺寸光学窗口零件面形和平行差开放式检测装置及检测方法，检测装置包括上平台，下平台，支架，升降螺杆，导轨，滑块，锁紧块，限位块，俯仰和旋转调整机构和载物台。通过升降螺杆调平上平台和下平台，形成大尺寸窗口零件开放式测试区域。该装置将干涉仪安装于上平台上，利用俯仰调整机构，使零件的表面像和干涉仪的标准像产生干涉，得到该区域的干涉条纹，获得该区域的干涉图样，再通过旋转和平移零件，实现大尺寸窗口零件全范围内的局部面形测试；利用零件两面产生的干涉条纹，获得干涉图样，根据等厚干涉平行差计算公式，得到该区域的平行差，再通过旋转和平移零件，实现大尺寸窗口零件全范围内的局部平行差测试。

著录项

公开/公告号CN110487208B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-08

原文格式PDF
申请/专利权人西安应用光学研究所;
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申请/专利号CN201910786119.9
发明设计人苏瑛;杨海成;赵智亮;郭芮;许增奇;王章利;张瑜;姚志顺;张云龙;刘选民;张峰;王阜超;
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申请日2019-08-24
分类号G01B11/24(20060101);G01B11/26(20060101);
代理机构61204 西北工业大学专利中心;
代理人陈星
地址 710065 陕西省西安市雁塔区电子三路西段九号
入库时间 2022-08-23 11:24:54

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