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光波导器件、可变光衰减器及其阵列和光开关及其阵列

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一种用作可变光衰减器或光开关的光波导器件包括：衬底；马赫-曾德尔干涉仪，它设在所述衬底上，并包括插入在一对分支之间的第一和第二波导部分；加热器，它包括导电薄膜，形成在与所述第一波导部分对应的位置处，并通过发出的热量对第一波导部分加热，以引起在第一波导部分中传播的光信号相移；以及与所述加热器串联地连接到用于向加热器提供电能的电源的电阻器。所述电阻器具有低于所述加热器的电阻温度系数。所述波导器件优选地形成为具有石英玻璃波导结构的器件。

著录项

公开/公告号CN100419477C

专利类型发明授权
公开/公告日2008-09-17

原文格式PDF
申请/专利权人日本电气株式会社;
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申请/专利号CN200410090353.1
发明设计人山崎裕幸;小熊健史;
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申请日2004-11-04
分类号G02B6/122(20060101);G02F1/01(20060101);G02F1/225(20060101);G02B6/24(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人朱进桂
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:01:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-10-26

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 6/122 授权公告日:20080917 终止日期:20171104 申请日:20041104

专利权的终止
2008-09-17

授权

授权
2008-09-17

授权

授权
2005-07-13

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-07-13

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-05-11

公开

公开
2005-05-11

公开

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