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一种瞬态数字莫尔移相干涉测量装置和方法

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一种瞬态数字莫尔移相干涉测量装置及方法，其解决了使用两步载波拼接法时需要牺牲瞬时抗振性换取测量范围的缺陷，扩展了传统的数字莫尔移相方法的测量范围，同时也保留了数字莫尔移相方法的瞬时抗振特性。装置包括：光源(1)、第一分光镜(2)、参考镜(3)、偏振光栅(4)、被测镜(5)、λ/4波片(6)、第二分光镜(7)、第一线偏器(8)、第一成像物镜(9)、第一相机(10)、第二线偏器(11)、第二成像物镜(12)和第二相机(13)；通过偏振光栅的分光性能加载不同载波，使用偏振光栅将两束干涉光分离，同时获取两幅实际干涉图。

著录项

公开/公告号CN111238396B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-09

原文格式PDF
申请/专利权人北京理工大学;
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申请/专利号CN202010085157.4
发明设计人胡摇;郝群;王臻;吕佳航;王劭溥;
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申请日2020-02-10
分类号G01B11/24(20060101);
代理机构11388 北京市中闻律师事务所;
代理人冯梦洪
地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学
入库时间 2022-08-23 11:34:22

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