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用于处理具有相干性的辐射束的装置和方法

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摘要

公开了用于处理具有相干性的辐射束的装置和方法。在一种布置中，光学系统接收具有相干性的辐射束。辐射束包括分布在一个或多个辐射束空间模式之上的分量。波导支持多个波导空间模式。光学系统将属于共同辐射束空间模式并且具有不同频率的辐射束的多个分量引导到波导上，使得多个分量中的每个分量耦合到波导空间模式的不同集合，每个集合包括一个或多个波导空间模式。

著录项

  • 公开/公告号CN109564395B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;

    申请/专利号CN201780048092.2

  • 发明设计人 S·A·戈登;N·潘迪;D·阿克布鲁特;T·W·图克;J·M·M·德维特;

    申请日2017-07-17

  • 分类号G03F7/20(20060101);G02B6/42(20060101);G02B6/26(20060101);

  • 代理机构11256 北京市金杜律师事务所;

  • 代理人王茂华;吕世磊

  • 地址 荷兰维德霍温

  • 入库时间 2022-08-23 11:34:34

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