公开/公告号CN109785302B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-19
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院西安光学精密机械研究所;
申请/专利号CN201811615977.9
申请日2018-12-27
分类号G06T7/00(20170101);G06T5/50(20060101);G06N3/04(20060101);
代理机构61211 西安智邦专利商标代理有限公司;
代理人汪海艳
地址 710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
入库时间 2022-08-23 11:35:55
机译: 气体例如氩气,一种用于硅晶片加工/转移设备的真空室的泄漏检测方法,涉及产生气体等离子体并检测在等离子体发射的辐射光谱中测试气体的光谱线的存在
机译: 水分变化检测装置,水分变化检测方法,真空计和真空波动检测方法
机译: 光谱摄像机控制装置,谱相机控制系统,存储介质存储光谱相机控制程序,以及用于分发光谱相机控制程序的网络系统