公开/公告号CN100428421C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹(集团)有限公司;上海集成电路研发中心有限公司;
申请/专利号CN02112151.6
发明设计人 胡恒升;
申请日2002-06-20
分类号H01L21/3065(20060101);H01L21/324(20060101);
代理机构31200 上海正旦专利代理有限公司;
代理人陶金龙;陆飞
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路177号
入库时间 2022-08-23 09:01:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-12
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/3065 授权公告日:20081022 终止日期:20140620 申请日:20020620
专利权的终止
2015-08-12
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/3065 授权公告日:20081022 终止日期:20140620 申请日:20020620
专利权的终止
2008-10-22
授权
授权
2008-10-22
授权
授权
2006-10-04
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2006-10-04
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060901 申请日:20020620
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2006-10-04
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20060901 申请日:20020620
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2006-10-04
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2005-08-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-08-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-02-12
公开
公开
2003-02-12
公开
公开
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