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公开/公告号CN105474363B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580001485.9
发明设计人 J·Y·孙;B·P·卡农戈;陈益凯;V·菲鲁兹多尔;
申请日2015-05-06
分类号H01L21/208(20060101);H01L21/56(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人黄嵩泉
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:45:58
机译: 用于悬浮等离子体喷涂的浆料组合物,制备相同和悬浮等离子体喷涂层的方法
机译: 用于悬浮等离子体喷涂的浆料,以及形成喷涂涂层的方法
机译: 通过静电浆料喷雾沉积来沉积抗等离子体陶瓷层的方法及其制造升降销的方法
机译:陶瓷涂层碳化硅构件的开发:常压等离子体喷涂高粘附力氧化物陶瓷涂层
机译:等离子体转移电弧法的大气等离子体喷涂金属陶瓷涂层的表面改性
机译:基于多功能氧化物陶瓷的气热复合涂层表面喷涂等离子喷涂及脉冲等离子体处理参数优化
机译:通过火花等离子体烧结后处理等离子体喷涂无定形陶瓷涂层
机译:大气和低压条件下溶液前体等离子体喷涂工艺制备超疏水陶瓷涂层
机译:A的微观结构和腐蚀特征通过等离子体电解氧化的MgO /羟基磷灰石双层涂层加上火焰喷涂在Mg合金上
机译:表面精加工的大气压等离子体加工。通过等离子体喷涂陶瓷涂层。
机译:用于火箭推力室的喷涂涂层的等离子体试验