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抗等离子体的陶瓷涂层的浆料等离子体喷涂

摘要

本文中公开的是用于生产超致密和超平滑的陶瓷涂层的方法。一种方法包括:将陶瓷颗粒浆料馈送到等离子体喷涂器中。所述等离子体喷涂器生成被引导向基板的颗粒流,从而在接触时在所述基板上形成陶瓷涂层。

著录项

  • 公开/公告号CN105474363B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-05-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN201580001485.9

  • 申请日2015-05-06

  • 分类号H01L21/208(20060101);H01L21/56(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人黄嵩泉

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 11:45:58

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