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用于实验制备超冷原子与分子的超高真空获取系统及方法

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本发明涉及超高真空系统，具体是一种用于实验制备超冷原子与分子的超高真空获取系统及方法。本发明解决了现有超高真空系统真空度不够高的问题。用于实验制备超冷原子与分子的超高真空获取系统，包括第一真空腔、第二真空腔、第三真空腔、第四真空腔、第一钛升华泵、第二钛升华泵、第一溅射离子泵、第二溅射离子泵、第三溅射离子泵、第一角阀、第二角阀、第一涡轮分子泵、第二涡轮分子泵、第一离子规、第二离子规、第三离子规、充气阀、氮气源、碱金属源、第一插板阀、第二插板阀、塞曼减速器、三通管。本发明适用于实验制备超冷原子与分子。

著录项

公开/公告号CN111441029B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-11

原文格式PDF
申请/专利权人山西大学;
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申请/专利号CN202010324158.X
发明设计人武寄洲;刘文良;李玉清;郑宁宣;马杰;肖连团;贾锁堂;
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申请日2020-04-22
分类号C23C14/56(20060101);C23C14/34(20060101);F04D19/04(20060101);F04D25/16(20060101);
代理机构11833 北京化育知识产权代理有限公司;
代理人尹均利
地址 030006 山西省太原市坞城路92号
入库时间 2022-08-23 11:46:09

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