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用于MEMS传感器设备特别是MEMS陀螺仪的具有改进的驱动特征的微机械检测结构

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摘要

一种微机械检测结构(20)，包括：半导体材料的衬底(2)；驱动质量体布置(4a‑4c)，耦合至驱动电极集合(7a‑7c)并且在驱动电极集合的电偏置之后在驱动移动中被驱动；第一锚固单元(5a‑5c,6a‑6c)，耦合至驱动质量体布置以用于在第一锚固部(5a‑5c)处将驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)；被驱动质量体布置(10,30)，通过耦合单元(22a‑22b)弹性地耦合至驱动质量体布置并且被设计为由驱动移动所驱动；以及第二锚固单元(14,34)，耦合至被驱动质量体布置以用于在第二锚固部(17,37)处将被驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)。在驱动移动之后，在第一和第二锚固部处施加于衬底(2)上的力和扭矩的合量基本上为零。

著录项

  • 公开/公告号CN107179074B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 意法半导体股份有限公司;

    申请/专利号CN201610877204.2

  • 发明设计人 G·加特瑞;L·G·法罗尼;C·瓦尔扎希纳;

    申请日2016-09-30

  • 分类号G01C19/5656(20120101);G01C19/5663(20120101);

  • 代理机构11256 北京市金杜律师事务所;

  • 代理人王茂华;张曦

  • 地址 意大利阿格拉布里安扎

  • 入库时间 2022-08-23 11:57:17

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