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一种耐高温电容式加速度计及其无线测试验证平台

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本发明公开了一种耐高温电容式加速度计及其无线测试验证平台，该加速度计由四层耐高温氧化铝生瓷片烧制而成，其中，第一层生瓷片为正方形结构，第二层生瓷片为悬臂梁‑质量块结构，第三层生瓷片为边框结构，用于增加电容极板间距，第四层生瓷片为矩形结构；该无线测试验证平台包括高精度转速控制单元、高精度温度控制单元、信号无线提取单元及电气总控制器。本发明以耐高温氧化铝陶瓷和铂浆料为材料，通过HTCC工艺成功制备了一种可用于高温环境中的电容式加速度计；并设计了一款可以实现复杂环境中加速度计测试验证的温度‑加速度复合测试平台，其可以精准地模拟在25‑1000℃、0‑10g量程下的温度‑加速度复合环境。

著录项

公开/公告号CN110308309B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-22

原文格式PDF
申请/专利权人中北大学;
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申请/专利号CN201910744184.5
发明设计人李晨;薛亚楠;熊继军;孙博山;
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申请日2019-08-13
分类号G01P21/00(20060101);G01P15/125(20060101);
代理机构11407 北京彭丽芳知识产权代理有限公司;
代理人彭丽芳
地址 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号中北大学国防科技重点实验室
入库时间 2022-08-23 12:00:13

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1. 一种耐高温电容式加速度计及其无线测试验证平台 [P] . 中国专利： CN110308309B . 2021.06.22
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