退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
公开/公告号CN108604521B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人 三星电子株式会社;
申请/专利号CN201780008314.8
发明设计人 朴同浩;金学载;权明根;徐应烈;梁承哲;
申请日2017-02-23
分类号H01J23/00(20060101);H01J23/033(20060101);H01J23/12(20060101);H01J23/15(20060101);
代理机构11286 北京铭硕知识产权代理有限公司;
代理人王秀君;鲁恭诚
地址 韩国京畿道水原市
入库时间 2022-08-23 12:03:12
机译: 用于冷却在连续涂覆系统中用于将目标材料涂覆到基板上的细长磁控管的冷却装置,在磁控管的端部具有冷却剂入口和出口
机译: 用于冷却目标的冷却系统用于在高真空下将材料施加到基板上的平面磁控管,具有包括横截面的冷却通道,冷却通道沿介质流的速度逐渐变化
机译: 用于通过溅射涂覆衬底的磁控管装置包括槽形的磁体系统,块状靶材和在磁体系统的槽内具有冷却剂通道的冷却体
机译:具有二次冷却冷阴极的空间谐波磁控管的粒子模拟
机译:具有L波段的紧凑,高功率和高效相对磁控管磁控管,所有腔轴向提取
机译:具有不平衡磁系统的磁控管设备中沉积的TiOx涂层的椭圆偏振法:氧浓度和磁控管与基材的距离的影响
机译:使用外部微波信号冷却具有二次发射阴极的磁控管
机译:使用单元内粒子模拟对具有衍射输出(MDO)的磁控管进行数值研究和优化。
机译:磁控管溅射Aln /六边形BN /蓝宝石基材的外延生长
机译:用瞬态冷却诊断磁控管
机译:燃气轮机的冷却VIII:通过燃气轮机的理论温度分布,在轮辋上具有特殊叶片和冷却翅片