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叠加图形的校正方法及叠加图形的校正装置

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摘要

本揭示提供了叠加图形的校正方法及叠加图形的校正装置。所述叠加图形的校正方法包括通过量测系统模拟出多个叠加模拟图形，通过所述量测系统传送所述叠加模拟图形给主动图案校正系统，以及通过所述主动图案校正系统校正所述叠加模拟图形以产生叠加校正图形，能够实现实时优化叠加图形。

1. 叠加图形的校正方法及叠加图形的校正装置 [P] . 中国专利： CN110111265B . 2021.08.06
2. 图形尺寸校正装置和图形尺寸校正方法 [P] . 中国专利： CN100543582C . 2009.09.23
3. Superimposing position correction device and superimposing position correction method [P] . US11049268B2 . 2021-06-29

机译：叠加位置校正装置和叠加位置校正方法
4. Superimposed position correction device and superimposed position correction method [P] . 日本专利： JPWO2018158903A1 . 2019-07-11

机译：叠加位置校正装置和叠加位置校正方法
5. SUPERIMPOSING POSITION CORRECTION DEVICE AND SUPERIMPOSING POSITION CORRECTION METHOD [P] . 美国专利： US2019385318A1 . 2019-12-19

机译：叠加位置校正装置和叠加位置校正方法