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一种基于激光干涉原理的机床几何误差测量装置

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一种基于激光干涉原理的机床几何误差测量装置，包括机械跟踪装置及其上安装的激光测量装置；机械跟踪装置包括激光干涉仪，激光干涉仪通过干涉仪调整云台和工作台球铰链连接，工作台球铰链底部安装在机床连接台上；干涉仪承载云台同时安装在上安装座一、下安装座三连接的伸缩杆一、二上，伸缩杆末端的连接板上安装有刀头处球铰链与线性反射镜，伸缩杆上的下安装座一、二上装有固定旋转镜和线性干涉镜组；本发明通过伸缩杆增大激光干涉仪量程，通过球铰链为激光干涉仪空间姿态调整提供保证，有效提高数控加工中心几何误差测量效率，通过计算机协同处理测量数据，实现测量自动化，具有运动灵活、操作简单、测量高效的优点。

著录项

公开/公告号CN111189390B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-10

原文格式PDF
申请/专利权人陕西科技大学;
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申请/专利号CN202010022069.X
发明设计人李海涛;
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申请日2020-01-09
分类号G01B11/00(20060101);
代理机构61215 西安智大知识产权代理事务所;
代理人贺建斌
地址 710021 陕西省西安市未央区大学园区陕西科技大学
入库时间 2022-08-23 12:16:48

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1. 一种基于激光干涉原理的机床几何误差测量装置 [P] . 中国专利： CN111189390B . 2021.08.10
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