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一种静电力平衡式石英挠性加速度计的电极参数设计方法

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一种静电力平衡式石英挠性加速度计的电极参数设计方法，在明确加速度计量程和精度设计要求后，完成敏感摆片的基本结构以及电路基本参数设计，采用本方法即可完成加速度计的驱动电极和检测电极的参数设计，设计结果满足加速度计的量程、精度设计指标。该方法基于静电驱动力关系式和检测电容容值关系式，方法简单、易行、有效。

著录项

公开/公告号CN110308307B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-10

原文格式PDF
申请/专利权人北京控制工程研究所;
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申请/专利号CN201910464189.2
发明设计人刘燕锋;刘吉利;马官营;
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申请日2019-05-30
分类号G01P15/08(20060101);G01P21/00(20060101);
代理机构11009 中国航天科技专利中心;
代理人褚鹏蛟
地址 100080 北京市海淀区北京2729信箱
入库时间 2022-08-23 12:17:04

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