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用于操作集成MEMS麦克风设备的方法和集成MEMS麦克风设备

摘要

提出一种用于操作集成MEMS麦克风设备(1)的方法。所述集成MEMS麦克风设备(1)包括包围内部腔(16)的封装壳体(10),其中,在内部腔(16)内设置有具有可移动膜(19)的集成MEMS麦克风管芯(12)、至少一个环境传感器(13)和热去耦电路(14)。所述方法包括以下步骤:在测量模式(MM)中重复操作环境传感器(13);对于环境传感器(13)的测量模式(MM)之前和/或之后的过渡阶段(TP1、TP2),激活热去耦电路(14)。在过渡阶段(TP1、TP2)期间,逐渐调整进入内部腔(16)的热耗散。

著录项

  • 公开/公告号CN110915232B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-09-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 AMS有限公司;

    申请/专利号CN201880046029.X

  • 发明设计人 西村直明;

    申请日2018-07-03

  • 分类号H04R3/00(20060101);

  • 代理机构11413 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人谢攀;刘继富

  • 地址 奥地利普伦斯塔滕

  • 入库时间 2022-08-23 12:25:04

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