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工艺设备维护方法、系统及工艺设备维护控制装置

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摘要

本申请提供一种工艺设备维护方法、系统及工艺设备维护控制装置。所述工艺设备维护方法包括控制器获取通过设备观察窗的光通量数值。所述光通量数值由设置于设备的外部，并且与所述设备观察窗正对设置的传感器获取。若所述光通量数值小于所述光通量设备维护阈值，则所述控制器发出所述设备观察窗待清理的控制指令。本申请的所述工艺设备维护方法应用在真空镀膜设备中，可以实时获取所述设备观察窗的光通量数值，通过所述设备观察窗的光通量的下降情况来监控所述设备观察窗是否需要清理，检测结果更准确，从而有效避免对真空腔室的破空检测，提高了工艺设备中产品的良率，延长了设备运行时间。

著录项

  • 公开/公告号CN109358069B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 德运创鑫(北京)科技有限公司;

    申请/专利号CN201811133918.8

  • 发明设计人 张文;

    申请日2018-09-27

  • 分类号G01N21/94(20060101);

  • 代理机构11662 北京华夏泰和知识产权代理有限公司;

  • 代理人孟德栋

  • 地址 101102 北京市通州区中关村科技园区通州园金桥科技产业基地环科中路17号26幢1至3层102-LQ307

  • 入库时间 2022-08-23 12:37:35

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